臭氧是广谱、高效、快速杀菌剂，它可迅速杀灭使人和动物致病的各种病菌、病毒及微生物。臭氧是一种强氧化性物质，它可以在较短时间内破坏细菌、病毒和其他生物的生物结构，使之失去生存能力，利用氧化性来杀死微生物以达到灭菌效果的化合物还有很多，比如常见的氯气、漂白粉、高锰酸钾等。但是，这些杀菌剂不但比臭氧杀菌速度慢，而且一般杀菌剂对人体有害。臭氧与一般杀菌剂有不同，因而多余的臭氧可以很快分解成氧气，而氧气对人体有益而无害。臭氧的杀菌效果与氧乙酸相当，强于甲醛，杀菌力比氯高一倍。与一般杀菌剂进行性、积累性的杀菌消毒功能不同的是臭氧的杀菌作用是急速的，当其浓度超过一定阈值后，消毒杀菌甚至可以瞬间完成。湿度的提高及降低可增强臭氧的消毒作用，当臭氧溶于水中后有更强、更快的杀菌消毒作用。臭氧几乎对所有病菌、病毒、霉菌、真菌及原虫、卵囊都具有明显的恶劣效果，且灭菌时间来说，情事无比，是氯的300-600倍，是紫外线的3000倍。